PFEIFFER CMR361 真空計核心技術原理
點擊次數：70 更新時間：2026-04-01
德國PFEIFFER CMR361 真空計核心技術原理
PFEIFFER CMR361 是德國普發真空（Pfeiffer Vacuum）推出的皮拉尼 + 壓阻復合式全量程真空計，核心優勢是從大氣壓到高真空（1000 mbar～1×10?? mbar）無縫連續測量，兼具高精度、快響應與工業級可靠性，廣泛用于真空系統全程壓力監控。
一、核心技術原理
CMR361 采用雙傳感器智能融合 + 自動量程切換技術，在全量程內始終以原理測量：
壓阻（Piezo）測量段（1000～1 mbar）
基于陶瓷電容薄膜傳感器，通過壓力引起的膜片形變改變電容值，直接測量氣體壓強。
優勢：不受氣體種類影響、無記憶效應、耐污染、溫度補償優異。
皮拉尼（Pirani）測量段（1～1×10?? mbar）
基于熱傳導原理，通過測量加熱絲電阻變化，間接反映氣體分子密度與壓力。
優勢：在中低真空段靈敏度高，適合動態真空過程監測。
智能切換機制
內置處理器自動識別壓力區間，平滑切換兩種測量模式，輸出連續穩定信號，無斷點、無干擾。
二、關鍵技術參數
表格
| 參數項 | 規格 |
|---|---|
| 測量范圍 | 1000 mbar ～ 1×10?? mbar（無縫覆蓋） |
| 測量精度 | 0.2%～0.5% of reading（量程內） |
| 分辨率 | 0.003% F.S.（滿量程） |
| 響應時間 | ≤130 ms |
| 輸出信號 | 2 路 0–10 V 線性模擬量；3 路繼電器觸點；RS485（Modbus RTU） |
| 供電 | 24 V DC，功耗≤1 W |
| 過程連接 | DN 16 ISO-KF 法蘭（標準） |
| 接觸材質 | 99.5% 高純氧化鋁陶瓷（Al?O?）、316L 不銹鋼 |
| 耐溫 | 法蘭段烘烤溫度 110 ℃ |
| 環境溫度 | 工作：+5～+50 ℃；存儲：-40～+65 ℃ |
| 耐壓 | 2 bar（絕壓） |
| 重量 | ＜300 g |
| 信號傳輸距離 | 最長 120 m |
三、核心技術特點
全量程無縫測量
單臺設備覆蓋大氣壓至高真空，替代傳統多真空計組合方案，簡化系統、降低成本。
高精度與穩定性
陶瓷傳感器 + 精密溫度補償，零點漂移極低（0.02% F.S./℃），長期穩定性優異。
無機械磨損、無老化，適合連續工業工況。
工業級通信與控制
標配模擬量 + 數字通信（RS485/Modbus），兼容 PLC/DCS 系統，支持遠程監控與自動控制。
內置繼電器可實現壓力超限報警、聯鎖保護。
緊湊型設計
體積小、重量輕，安裝靈活，適配空間受限的真空設備與系統。
耐污染與抗腐蝕
陶瓷與不銹鋼材質，抗腐蝕性氣體，適合半導體、鍍膜、化工等嚴苛環境。
四、典型應用場景
真空鍍膜設備（PVD、CVD、PECVD）全程壓力監控。
半導體制造（刻蝕、離子注入）真空系統控制。
真空爐、熱處理設備工藝壓力監測。
檢漏設備、真空干燥、冷凍干燥系統。
科研實驗室真空裝置、質譜儀配套測量。
五、技術優勢總結
CMR361 以復合傳感 + 智能切換為核心，解決了傳統真空計 “量程割裂、切換復雜、穩定性差" 的痛點，實現全量程、高精度、快響應、高可靠的真空測量，是工業真空過程自動化監控的優選方案。
